据businesskorea报道，三星电子副会长李在镕正敦促ASML的高管尽早交付三星今年订购的9台的EUV光刻机。
该报道指出，李在镕日前在到访荷兰时，与ASML的CEO Peter Wennink、CTO Martin van den Brink等高管进行了会晤。李在镕要求ASML提前1个月交付EUV光刻机。对于三星的要求，传ASML考虑最快11月出货。
据悉，ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商，年产量为40余台，台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵，每台要价约1.3亿美元，由于是EUV制程必需的关键设备，台积电与三星电子的竞争日益激烈。
三星为了全力追赶台积电，正快马加鞭导入EUV光刻机，并扩建晶圆代工产线。今年5月，三星计划投资10万亿韩元在平泽二厂建设晶圆代工生产线，并计划于2021年下半年开始全面运营。华城的V1线于2019年投入运行，专门用于EUV工艺。
现阶段，确保EUV光刻机的数量是三星最紧迫的任务，如果EUV光刻机的安装延迟，全球客户最先进的高性能、低功耗芯片订单将流向台积电。
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