EUV光刻机对未能获得EUV光刻机感到无奈

2021-01-26 10:44:40

荷兰ASML公司虽然是全球最先进的光刻机企业,但在中国人心中印象实在不佳,尤其是最近ASML公司业绩发布会上,该公司总裁称其在2020年卖了100台EUV光刻机,可是,大家发现,内地企业一台都没买到,而中芯国际是下了订单但好几年也没收到货。

首先,目前主流光刻机为DUV和EUV两种制式,但EUV更先进,只是生产数量极少。ASML总裁Peter Wennink在业绩发布会透露,ASML第四季度销售额为43亿欧元,2020年全年净销售总额为140亿欧元,毛利率在50%至51%之间。这说明卖光刻机真赚钱呀,毛利率真高。

其次,迄今为止,ASML的EUV出货量超过了100台,其中,2020年生产了31台,这31台EUV卖了45亿欧元,相当于一台EUV光刻机价值1亿多欧元、10亿元人民币左右。

ASML公司2020年第四季度9台EUV,其中的8台共卖了11亿欧元。

貌似EUV光刻机仍是稀缺产品,几家芯片代工巨头都开始抢购。台积电计划在2021年年底前购置55台EUV光刻机,预计花费金额440亿人民币。

三星在1月15日与ASML公司签订了新一轮订单,将采购20台EUV光刻机,总计花了33.8亿美元,约合234亿元人民币。

早在2018年,中芯国际曾下单给ASML订购EUV光刻机,不过,迄今未拿到货。

中芯国际副董事长蒋尚义最近也说,“我们的半导体产业需建立完整的生态环境才能在全球市场竞争中取胜,包括设备 + 原料硅片工艺封装测试芯片产品系统产品,以及 EDA 软件等的配合,才能达到系统性能的最佳化”,中芯国际也一直对未能获得EUV光刻机感到无奈。

2020年7月,中芯国际董事长周子学在科创版IPO网上路演与投资者互动交流时,回应了EUV光刻机的采购和超募资金使用情况。周子学称,设备采购公司依据相关商业协议进行,不对单一设备的采购情况进行评论。他强调,公司目前量产和主要在研项目暂不需用到EUV光刻机。

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